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“一种低阻尼电容式加速度传感器及其制备方法”等1项专利

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当前价格:¥5 万

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编号:ZJIPX20210131GP

所属:杭州电子科技大学

挂牌开始时间:2021-09-22 09:00:00

挂牌截止时间:2021-09-27 17:00:00

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项目介绍:

本发明提出一种低阻尼电容式加速度传感器及其制备方法,所述低阻尼电容式加速度传感器,由变间距式和变面积式两种电容结构组成。所述变间距式电容采用具有差分特性的梳齿状电极板结构,通过静电驱动方式减小电容可动极板和固定极板的间距,克服了干法刻蚀工艺对高深宽比梳齿状电极结构制备的难题,有效提高了所制备加速度传感器的初始电容;并在变间距式电容的固定极板上刻蚀倒三角形凹槽结构,与已报道的矩形凹槽结构相比,大大降低了空气阻尼并且具有较好的保真度。将变间距式和变面积式电容结构组合能够有效提高传感器的灵敏度、降低空气阻尼。本发明中的传感器初始电容大,阻尼小,噪声低,灵敏度高,制作工艺简单,可以降低成本。


所含知识产权:

专利名称:一种低阻尼电容式加速度传感器及其制备方法   

专利(申请)号:ZL 201811294746.2




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